反応焼結によるSi3N4-Si2N2O-TiN系複合体の作製と機械的特性の評価

清野 肇; 嶋田 志郎

doi:10.14853/pcersj.2007F.0.72.0

日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム講演予稿集

第20回秋季シンポジウム

セッションID: 1E23

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2007F.0.72.0

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主催: 公益社団法人日本セラミックス協会

反応焼結によるSi₃N₄-Si₂N₂O-TiN系複合体の作製と機械的特性の評価

*清野肇, 嶋田志郎

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キーワード: 反応焼結, 複合体, 窒化チタン, 機械的特性

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抄録

Si₃N₄およびTiO₂粉末にY₂O₃とAl₂O₃を焼結助剤として加えホットプレスで焼結した．得られ試料に対して生成相の確認と微細構造観察を行い，硬度，強度，靭性を評価した．1800℃以上で焼結するとSi₃N₄,TiN,Si₂N₂O相が生成したが，焼結温度および時間が短いとSiO₂成分の残存が見られた．TiNが3-7vol%の組成の試料で，強度および靭性に優れることがわかった．

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