白金・パラジウム共担持チタニア薄膜ガスセンサの水素ガス応答性

抄録

これまでディップコーティング法によりチタニア薄膜を作製し、さらに薄膜上に触媒金属であるパラジウムと白金を光電着法により担持して水素に対するセンサ特性を評価してきた。また水素ガスのセンシング機構として、水素が触媒金属上で燃焼する接触燃焼型であることを明らかにした。本研究ではチタニア薄膜上に櫛型電極を設けることで、水素ガスに対するセンシング作動温度の低温化および水素の低濃度領域での感度・応答性の向上を目的とした。電極間のギャップ幅を従来の1/10に短縮し測定抵抗値を低減することで、センサの作動温度の大幅な低下が実現した。