光酸発生剤を用いたラテント顔料含有無機ナノハイブリット膜パターニング技術の開発

抄録

光酸発生剤(PAG)を用いたラテント顔料含有有機無機ハイブリッド膜のパターニング技術の開発を行った。ラテント顔料、PAGをゾルゲル法により作成したSiO2ゾルと混合し、スライドガラス上に膜形成した。ついでUV照射後熱処理により顔料含有膜へ転換した。転換温度はPAG処理により、熱処理のみと比較し60℃以上の低温化する。また光照射部のみ酸が発生する為、顔料含有膜のパターニングが可能である。