酸化物ナノシートを基本ブロックとした誘電体素子の開発

抄録

ボトムアップ型ナノテクノロジーにより誘電体素子の開発を目指した新たな試みとして、我々が最近発見した高誘電体ナノシートを用いた技術について紹介する。機能開発が進んでいる酸化チタンナノシートを例に、溶液積層プロセスによる素子作製技術や、ナノのモノ作りで実現したユニークな誘電特性について紹介する。さらに、ナノシートをベースとした新規材料開発の最近の研究にもふれる。