SPS法による窒化硅素多孔体の作製

抄録

本研究では放電プラズマ焼結(SPS)法によって窒化硅素に焼結助剤に添加した多孔体窒化硅素を作成した。SPS法は原料の粒子間での急速局部加熱が可能であると言われている。この方法により粒成長を抑制した状態で粒子間の結合が強固になるため、機械的強度の向上が期待される。SPS法により試料を作成するにあたって焼結条件の調査、焼結助剤の調査を行うことで、多孔体窒化硅素の制御を行った。