新規剥離法を用いたAD法による積層圧電素子の作製

抄録

エアロゾルデポジション法(ＡＤ法)は、セラミックス原料粉をガスと混合してエアロゾル化し、ノズルから基板に噴射することで、緻密なセラミックス膜を基板上に作製する手法である。ＡＤ法を成膜法としてではなく、成形法として見た場合、有機バインダーを用いることなく焼結体並みの成形密度を実現する同手法は、グリーンシート法等の従来技術で課題となっている有害ガスの発生や焼結収縮の無い理想的な成形法であるとも言える。我々は現在、この観点からＡＤ法によるバルクセラミックスの作製に取り組んでいる。この一環として本研究では、ＡＤ法による積層圧電素子の作製を試みたので報告する。