抄録
プラスチックフィルム基板上にシリカマトリックス有機-無機ハイブリッド膜をゾル-ゲル法を用いてマイクロ波照射により作製した。作製した膜は主な成分がシリカであるため透明性を有し、有機高分子とのハイブリッド化により柔軟であった。この特性は無機成分と有機成分が分子分散しているためであると考えられる。また、ガスバリア膜としての適用性を評価するために、気体透過性、硬度などを測定した。得られたハイブリッド膜自身の酸素の透過係数はポリ塩化ビニリデンと同程度であり、ガスバリア性を有する緻密な膜が形成されていることがわかった。