窒化アルミニウム焼結体の格子欠陥構造に与える焼結プロセスの影響

抄録

窒化アルミニウムは高い熱伝導性を有するとともにその広いバンドギャップから高い透光性を有する。我々は焼結助剤の選定と焼成条件の最適化により高い透光性を持つAlNセラミックスを得ることに成功した。しかしながら、その焼結挙動は明確でなく、さらには焼結過程におけるAlN焼結体中の格子欠陥の生成と消滅の挙動は明らかでない。 本実験では、陽電子寿命測定法を用いて、透光性AlN焼結体の焼結過程の格子欠陥の挙動を評価した。