抄録
アルミニウム添加酸化亜鉛(ZnO:Al)ウイスカーを電界放射用冷陰極として利用する際には、均一な方向にしかも密集したものが得られなければならない。そこで炭素繊維上にZnO:Alウイスカーを均一な方向に成長させることを目的とした。溝を形成した基板を用いて、炭素繊維を溝にはめるように装着した。この炭素繊維上に大気開放型CVD法によってZnO:Alウィスカーを合成した。この時、CVD装置のノズルを固定して、基板を左右に動かした場合と動かさない場合とでウイスカーの成長の様子を比較した。合成したウイスカーを走査型電子顕微鏡(SEM)によって観察した。溝つき基板を使用し、基板を左右に振ることで大部分のウイスカーを同一方向に成長させることができた。
