LSCO/LNOハイブリッド電極によるCSD法PZT薄膜の応力制御と電気特性への影響

抄録

ペロブスカイト型構造を有するニッケル酸ランタン（LNO）薄膜、コバルト酸ランタンストロンチウム（LSCO）薄膜は高い電気伝導性と持つことから、強誘電体薄膜の電極としての応用が期待されている。また、LNOやLSCOは強誘電体以上の高い熱膨張係数（CTE）を有することから、CTE差による強誘電体薄膜への圧縮応力の印加が期待できる。そこで、本研究では、これらの薄膜をCSD法により作製し、LNOをシード層として、LSCOを応力制御層、電極として用い、LSCO/LNOハイブリッド電極薄膜がチタン酸ジルコン酸鉛（PZT）薄膜に与える圧縮応力による特性への影響を調査した。