EELSを用いたMLCC用誘電体材料における酸素空孔の評価

抄録

積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）は、高温・高電界負荷を与えた場合、BaTiO3誘電体層内の酸素空孔が負極との界面近傍に拡散・偏析することで、絶縁抵抗が劣化すると言われている。しかしながら、これらの酸素空孔の局在を、実用材料で直接的に確認できた事例は少ない。 本研究では、EELS分析および第一原理計算を用いた評価によって、MLCCの絶縁抵抗劣化サンプルにおける酸素空孔の局在を調べた。その結果、負極近傍における酸素空孔の局在を検出することができたので報告する。