コプラナー型プラズマ電極の作製と酸化亜鉛薄膜の形成

抄録

　コプラナー放電は高エネルギーを生み出す誘電バリア放電に分類される。本研究ではプラズマ発生用の絶縁基板として、前回本会で報告したガラスに加え、誘電率の高いアルミナやジルコニアを利用いることにより高いエネルギーを発生する電極を自作した。さらに、硝酸亜鉛エタノール溶液を塗布したガラス基板表面のみをプラズマ処理することにより酸化亜鉛薄膜の形成を行った。