湿式ジェットミル処理した廃シリコンスラッジの直接窒化による Si₃N₄粉末の合成

抄録

産業廃棄物である廃シリコンスラッジを湿式ジェットミル処理したものを高温窒素中で熱処理することにより Si₃N₄粉末を合成した。湿式ジェットミル処理による原料の解砕により、窒化は低温で進行し、 Si₃N₄の粒径は微細になることが明らかとなった。