助剤無添加AlNセラミックスの電気抵抗

抄録

ホットプレス法により焼結助剤を添加せずにAlNセラミックスを作製した。焼成時の保持時間を変化させて作製し、得られた焼結体の体積抵抗率とESRスペクトルを測定した。体積抵抗率は保持時間の経過と共に低下する傾向が見られた。またESRスペクトルの吸収強度は保持時間の変化に応じて各ピーク共、一定の傾向が見られた。このことから、保持時間に応じて生成される欠陥に変化が生じていると考えられる。