水溶液より変動型電気化学堆積法で成膜したYSZ薄膜の表面組織

抄録

本研究ではジルコニア薄膜を複合水溶液を用いて、パルス電圧印加型の電気化学堆積法によりガラス基板上に作成した。原料には硝酸塩を用い、酸度の調整と析出反応を促進するためにアンモニア水及び過酸化水素水を少量加えた。平坦な表面形状の膜であったが、表面観察では一部熱収縮時に生じた亀裂が存在していた。表面状態および膜厚は添加アンモニア量、印可電圧、時間、および電極-基板間距離などの成膜条件により変化した。特に印加するパルスの周波数に依存して、膜厚や結晶化後の亀裂やピンホールなどの表面性状が変化し、高周波側で欠陥の少ない膜が得られた。