バルク状原料の溶解を利用した金属基板上への配向性ZSM-5薄膜の作製

抄録

当研究室では，新しい膜作製法として「緩やかな膜形成」をコンセプトに「バルク状原料の溶解を利用した配向性薄膜の作製法」を検討しており，緻密セラミックス基板上への配向性ZSM-5薄膜の作製に成功している。本発表では，熱交換器，モジュール材料としての実用化を視野に入れ，金属基板上への配向性ZSM-5薄膜の作製を検討した結果を報告する。