撥水基板上でのハイブリッド光共振用微小球の作製

抄録

キャピラリーを用いてゾル液滴を基板に滴下させ、高い光閉じ込め効率が期待される粒径が数十ミクロンの光共振用微小球を作製した。Tetramethylorthosili- cate(TMOS)や3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MOPS)をエージングし、水を加えて溶媒中の水の割合が90%のゾルを調整した。泳動電着法により、銅基板に撥水処理したシリカ粒子を付着させ、超撥水基板を作製した。滴下されたTMOSゾル液滴は10秒程で縮小・固化し、粒径25～50ミクロンの微小球が作製できた。5MOPS-95TMOSゾル液滴は半球状となった。