ヘキサクロロジシロキサンのアンモノリシス反応を用いたSiO_xN_yの合成

抄録

ヘキサクロロジシロキサンCl₃SiOSiCl₃のアンモノリシス反応を用いてシリコンオキシナイトライドSiO_xN_y前駆体ポリマーを合成した。具体的には、トルエン溶媒中でCl₃SiOSiCl₃にアンモニアを-30℃、2時間バブリングして得た。IR分析結果より、アンモノリシス生成物はSi-O-Si結合とSi-NH-Si結合を有するSi-O-Nネットワークを形成していることがわかった。そのアンモノリシス生成物をアルゴン雰囲気下で焼成し、SiO_xN_yセラミックスを合成した。