抄録
AlNは高熱伝導絶縁体で、パワーデバイス用放熱基板として期待されている。我々は、焼結法に代わる手法として、Al融液と窒素からAlNを成長する融液窒化法に着目し、これまでに、Mg蒸気と窒素ガスを同時に外部から供給する手法で、完全にAl融液をAlNへと変換させることに成功している。しかし、得られたAlNには高密度な部分とポーラス部分が混在していた。そこで、高密度AlNの形成メカニズムを解明するために、原料をAl板に変更し、Mg蒸気の供給時間を制御して実験を行った。窒化は原料表面のみで生じており、Mg蒸気が融液表面の酸化膜と反応して、酸化膜が破れ、そこからAl融液が酸化膜上にしみ出し、しみ出した融液と窒素が反応し、AlNを生成するというメカニズムが示唆された。
