日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第24回秋季シンポジウム
セッションID: 3R05
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透明導電性酸化物を用いた透明高周波デバイスの検討
*荻野 剛士坂口 勲菱田 俊一安達 裕中島 邦彦羽田 肇大橋 直樹
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抄録
 透明導電性酸化物(TCO)を用いた,透明な高周波デバイスを検討している.TCOの抵抗率は,金属と比較して2桁近く大きな抵抗率のため,この抵抗率がRFデバイスに対して,与える影響を検討した.  導波路の場合,透明導電膜の損失が与える影響は非常に大きいことがわかった.そこで,透明性を確保するために,微細な金属細線を信号線と接地導体に配置したハイブリット構造を考案した.この構造により,透明性を保ったまま,実効的な抵抗値の低減し挿入損失を低減することが出来た.  一方,透明モノポールアンテナの場合,数Ω/□の透明導電膜を用いたハイブリッド構造により,不透明な全面金属のアンテナの特性と比較しても,遜色のない高放射効率が得られた.電流密度分布を示しながら,その要因について報告する.
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©  日本セラミックス協会 2011
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