マイクロ波加熱を用いた酸化物透明導電膜の作製

抄録

本研究ではセラミックスの焼結技術としてマイクロ波加熱に注目し、家庭用電子レンジを利用した透明導電性薄膜の作製を試みた。この技術は急速加熱による短時間焼結が可能であることが特徴である。今回はマイクロ波の吸収・発熱用に市販のITO 微粒子を利用し、ITO 膜およびSnO₂膜の作製を試みた。