Bi系ペロブスカイト薄膜の結晶化に及ぼすその場レーザー光照射の効果

抄録

Bi基ペロブスカイト薄膜を、その場レーザー光照射を伴うパルスレーザー蒸着(PLD)法により作製した。室温基板上への成膜では、レーザー光照射の有無によらず結晶化は起こらなかったが、その後の400℃30分間の熱処理により、レーザー光照射を行った薄膜のみが、ペロブスカイト単相に結晶化した。これは、成膜時のレーザー光照射により、微細結晶のような核が形成されることにより、低温で結晶化が進行したためと考えられる。