PLD法によるMnTiO₃薄膜作成と構造制御

抄録

薄膜作成に多用されるＰＬＤ法における膜生成メカニズムを明らかにするため、ターゲットと基板の材質を系統的に変えて膜作製を行い、構造と物性を評価した。ターゲットとしてMno+TiO3圧粉体、イルメナイト型MnTiO3、LiNbO3型MnTiO3、基板として石英ガラス、STO(111)、サファイア(0001)を使用した。ターゲット相の構造に関係なく酸素分圧と温度が堆積された薄膜の構造を決定することが明らかになった。