マイクロデバイス上におけるPd/Al2O3触媒のメタン燃焼性能

抄録

化学的な機能を利用するマイクロガスセンサでは、その性能および機能の向上を実現するために機能性材料をデバイス上へ集積化する必要がある。中でも、触媒燃焼反応を利用したマイクロガスセンサの場合、デバイス集積化に特化した高い燃焼性能かつ高い安定性を示す燃焼触媒の開発が求められる。本研究では、マイクロデバイスに集積化するメタン燃焼用触媒としてアルミナ担持パラジウム触媒を開発し、触媒調製方法および担体によるデバイス上での燃焼性能変化について検討した。