SPS法により作製されたAlN-SiC系セラミックスの微構造と機械的特性

抄録

窒化アルミニウム（AlN）と炭化ケイ素（SiC）は全組成領域でAlN-SiC固溶体を形成するが、その微構造や特性が組成に依存して変化することが知られている。我々はこれまで、常圧焼結法や放電プラズマ焼結法（SPS法）を駆使してAlN-SiC固溶体からなるセラミックスを作製し、微構造や電気的特性について系統的な調査を行ってきた。本研究では、SPS法により作製した緻密なAlN-SiC系セラミックスの微構造の観察を行い、室温から高温における機械的特性について評価・考察を行うことを目的とした。