抄録
従来のゾル-ゲル法によるボロシリケートガラスの作製は、ボロシロキサン結合(B-O-Si-O)が水やアルコールにより分解するため、均質なゲルを得ることは難しかった。本研究では、ボロシロキサン共重合体ゲルをホウ酸と有機修飾アルコキシシランを用いて無溶媒合成法により作製した。有機官能基として、光硬化性を付与させるために、重合性官能基であるメタクリル基を選択した。ボロシロキサン共重合体ゲルを粘度調整のため、2-エトキシエタノールで溶解し、光重合開始剤を加えてコーティングゾルとした。スピンコーティングにより製膜し、光硬化により、透明で均質な薄膜を得た。コーティングゾルを11Bおよび29Si NMRにより測定し薄膜をFTIRにより測定した結果、ポリマー内に高濃度でボロシロキサン結合を含むことを確認した。