SiO₂－ポリマーハイブリッド薄膜における制御された湿度応答性挙動を示す入れ子状しわ構造の形成

抄録

表面周期しわ構造を有する有機－無機ハイブリッド薄膜は、フレキシブル電子デバイスやマイクロレンズ等の様々な分野での応用が期待される。加えて、表面周期しわ構造の形態外部応答性を発現させることにより、特にMEMSやラボオンチップへの技術応用が期待される新規機能性材料の作製が見込まれる。これまでに我々はTiO₂－ポリマーハイブリッド薄膜においてUV照射による形態制御されたしわ構造形成技術を確立している。このようなしわ構造に由来する独特な機能性を見出すため、本研究では、SiO₂－ポリマーハイブリッド薄膜における入れ子状しわ構造の形成および形態の外部刺激応答性とその応答挙動の特異な変化に関して報告する。外部応答性の発現メカニズムについても併せて議論する。