Journal of Photopolymer Science and Technology
Online ISSN : 1349-6336
Print ISSN : 0914-9244
ISSN-L : 0914-9244
Photochemical Dissociation of p-Nitrobenzyl Aromatic Sulfonate and Its Application to Chemical Amplification Resists
T. Yamaoka, T. Omote, H. Adachi, N. Kikuchi, Y. Watanabe, T. Shirosaki
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1990 年 3 巻 3 号 p. 275-280

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