第38回 (2024)
セッションID: 3F5-GS-10-01
会議情報
主催: 一般社団法人 人工知能学会
会議名: 2024年度人工知能学会全国大会（第38回）
回次: 38
開催地: アクトシティ浜松＋オンライン
開催日: 2024/05/28 - 2024/05/31
半導体製造装置のセンサデータを用いた深層距離学習による類似事例検索に関する検討
詳細
主催: 一般社団法人 人工知能学会
会議名: 2024年度人工知能学会全国大会（第38回）
回次: 38
開催地: アクトシティ浜松＋オンライン
開催日: 2024/05/28 - 2024/05/31
本稿では，半導体製造装置のセンサデータを用いた深層距離学習による類似事例検索手法を提案する．半導体製造においては，装置稼働率向上のためのトラブルの早期検知と復旧の迅速化が重要課題である．そのため，センサデータを用いた装置状態モニタリング技術と，発生したトラブルの種類を特定して対処方法を提案するための類似事例検索技術の実現が期待されている．そこで提案手法では，半導体製造装置のセンサデータから深層距離学習モデルにより獲得した特徴表現を用いた類似事例検索を実現する．半導体製造装置のセンサデータを用いた実験により，提案手法ではクエリと同じ異常種類の事例を高精度に検索可能であることが確認された．
