砥石作業面のオン·ザ·マシン高速3-D測定システム

抄録

　研削加工では，詳細な工具情報の獲得が期待されている．本システムは，光学式検知ヘッドを用い，実用周速30m/sで回転中の作業面を各方向3μm間隔で走査し、高速3次元測定する．本システムは，測定領域に基本的な制限がなく，その拡張が容易である．また，高さとともに全点合焦画像が得られる等の特長を有する．