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加工条件と残留ひずみの関係
高島 孝太, 林 大翔, 田口 恭輔, 辻 尚史, 原 圭祐, 川村 拓史, 磯部 浩已
p.
1-2
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
背分力方向の超音波振動を援用した旋削加工においては,主軸回転と工具の超音波振動による相対移動によって被削材表面に移動軌跡が転写される.前報では,移動軌跡と工具逃げ面が干渉する加工条件を幾何学的解析により明らかにした.本報では,干渉が残留ひずみにおよぼす影響をSEM-EBSD法によって評価した結果,干渉によって大きな塑性ひずみが生じ,ビッカース硬さにおいても加工面直下では30%増大した.
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超音波振動振幅とスラスト方向の時間平均的な切削力の関係
辻 尚史, 高島 孝太, 川村 拓史, 原 圭祐, 櫻田 陽, 宮脇 和人, 磯部 浩已
p.
3-4
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
Ti-6Al-4Vに対し直径0.3mmのドリルで超音波振動援用穴あけを行い,振動振幅とスラスト方向の時間平均的な切削力の関係を調査した.深さ1.4から1.5mm付近を平均した結果を比較すると,慣用加工ではおおよそ3.5Nの切削力であったが,振動振幅1μmp-pでは2.9Nとなり,17%の低減効果が見られた.一方で,それ以上の振動振幅では切削力が増大した.この切削力増加は,超音波振動による工具逃げ面と被加工面の干渉が原因だと考えられる.
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第3報 ピックフィード方向の違いによる加工特性
清水 毅, 孕石 泰丈, 眞道 夏輝, 米山 陽, 石黒 輝雄, 雨宮 敦
p.
5-6
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
これまで工具逆回転によるエンドミル逃げ面利用加工方法を提案し,超音波援用により加工面への圧縮残留応力付与を確認した.さらに高速度カメラを用いた加工点の観察では,工具進行方向に対して右側領域と左側領域で加工現象に違いがあることが明らかになった.このことは,ピックフィード方向による加工特性がことなることを予想させる.そこで,ピックフィードの方向による加工特性を実験的に明らかにすることを試みる.
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中野 碧, 神 雅彦, カスリヤ ピラポン, 金井 秀生
p.
7-8
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年,SiC,GaNなどの高硬度半導体基板の需要が増えつつある.これら難加工材料や難加工形状工作物において,超音波振動研削法の有効性が報告されている.一方で,本研削法を導入する場合,従来では装置全体が専用品であり,利用に制限がある. これら課題に対し,本研究では,超音波振動を使用した自己振動型砥石について検討を行っている.本報では,PZT配置数の異なる20kHz砥石を試作し,その振動特性について評価を行った.
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加工圧力と研磨特性に関する検討
神 雅彦, 春田 響, 中野 碧, 金井 秀生
p.
9-10
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
砥石トランケーション処理をすることによって砥粒突出し高さを揃えた砥石により,超音波振動研磨を行うことで,研磨面の表面粗さ精度が向上することを明らかにしてきた.しかしながら,トランケーション処理の不十分さにより深い傷が残るといった課題があった.本研究では,トランケーションの精度を向上させる方法および加工圧力を変化させる方法について検討し,そのときの研磨特性を調べた.
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土橋 正臣, 奥田 英樹
p.
11-12
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
自動車の歴史は環境対応の歴史である.2024年7月に欧州では樹脂の水平リサイクルを含む改正ELV(End of Life Vehicle)規制案が公表され,サーキュラーエコノミーの活動はグローバルに広まった.我が国でも自動車産業の競争力維持のため,弊社ではロボットによるELVの自動解体システムを社会実装すべく技術開発ラボを新設した.この活動は公的資金プロジェクトの後押しを得て,Car to Car資源循環の実現に向けてオールジャパンの活動に消化した.
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中村 昌起, 下元 一輝, 諏訪 晴彦
p.
13-14
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
カーボンニュートラルの達成やエネルギー供給の不安定性に伴い、製造活動では一層の省エネルギー化が要求されている.本研究では、工程設計におけるエネルギー効率性評価を実現すべく、CAMによる工具経路の生成過程における消費エネルギーを精度よく予測するためのモデル構築を試みる.ここでは、ベンチマークの切削加工を対象とし、ヘリカル加工を含めた実測値との比較検証を通じて提案モデルの妥当性を示す.
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鈴木 悠矢, 西川 康博
p.
15-16
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
モビリティに使用されるボルトやリベットなどの機械接合部品は金属製であるため、接合箇所が増えるほど重量が増加する欠点がある。そこで本研究では、カーボンニュートラル実現に向けたモビリティの軽量化を目的として、炭素繊維強化熱可塑性プラスチック(CFRTP)製ブラインドリベットの実現性について検討を行った。その結果、継手強度約1kNのCFRTP製ブラインドリベットを作製することができた。
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松本 大輝, 佐藤 英樹, 河野 一平
p.
17-18
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
循環経済を実現する手段の一つであるリユースでは,中古品を再利用する際の可否判断が必要となる.中古品は使用されてきた環境が異なることから再利用時の製品寿命がばらつくため,ダメージに基づく可否判断が求められる.本研究は製品ライフサイクルにおけるダメージ予測に基づき再利用価値を診断し,再利用可否を判断する技術を開発している.本発表では,同技術を用いたリユース事業の環境・経済性の評価について報告する.
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新家 遥, 三竹 祐矢, 梅田 靖
p.
19-20
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年,製品の長寿命化に向けた設計要件の一つとして,製品の修理可能性が注目されている.一方で,製品の修理可能性の向上のみならず,故障リスク自体も低減しなければ,全体的な製品寿命の延長は実現できない.本稿では,修理可能性指標とFMEAを用いて,修理可能性と故障リスクの2つの観点から製品とその構成部品を評価する手法を提案する.本手法を複数のスマートフォンへ適用し,各製品の相違とその要因を特定した.
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診断処置支援の実現
坂本 聖, 三竹 祐矢, 赤松 政紀, 野口 直也, 浜 靖典, 梅田 靖
p.
21-22
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
予知保全中心の保全体制の実現のためには,現場の状態に合わせた恒常的な知識の更新と,予知機能の改良が必要である.本研究は,設備や予知機能の開発段階で得られる知識と,運用段階で得られる実績データを連携して,これらの更新と,技術者の作業支援を実現する予知保全支援システムを提案する.特に本稿では,技術者の作業分析から支援システムの要件を明らかにした上で,プロトタイプシステムを開発し,その有効性を検証した.
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比較結果の分析と活用方法の提案
北森 洸人, 梅田 靖, 太田 順, 木下 将嘉, 谷 省吾, 野中 史彦
p.
23-24
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
本研究では熟練者と未熟練者の行動の違いを明らかにし,その背景にある熟練者のプラント点検知識を抽出することを目的とする.第一報では熟練者・未熟練者各一名の点検行動の違いに着目したヒアリングを行い知識の抽出を試みた.第二報では熟練者・未熟練者各三名とスケールアップした点検行動の比較結果について分析を行い知識の抽出を試みる.さらに,抽出した知識を活用した,これからの点検のあり方について提案する.
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渡邉 樹, クレム クリスチャン, 木下 裕介
p.
25-26
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
サーキュラーエコノミーの観点から,シェアリングビジネス(SB)が注目されている.環境負荷を低減させるSBの実現には,消費者の行動選択を考慮したシステム設計が必要である.本研究では,シナリオ分析,消費者行動分析,マルチエージェントシミュレーションを組み合わせることにより,SBによる環境負荷低減のための条件を定量的に評価する手法を提案する.本発表では,バイクシェアリングを例題として提案手法の有効性を論じる.
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宮野 凌一, 村田 秀則, 小林 英樹
p.
27-28
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
サーキュラーエコノミー実現に向け,電気自動車に搭載される車載用リチウムイオン電池を産業用蓄電池に再利用する取り組みが進んでいる.そこで,電池の安定回収と売電による利益創出を両立する電気自動車リースビジネスが注目されている.本研究では,リースビジネスにおける電気自動車と蓄電池のライフサイクルを通じたサービス提供者の利益を評価し,リースビジネスの有効性を確認した.
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今井 誠己, 福重 真一
p.
29-30
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
循環生産システムを実現するため、様々な循環経路における資源の流路と流量を制御する最適なマネジメントを行う必要がある。本研究では、将来の不確実性を起因とする様々な状況変化を想定し、あらゆる外部環境に対応するための最適な制御値をライフサイクルシミュレーションを用いて事前に求めておく循環マネジメント手法を提案する。また、車載用リチウムイオン電池を用いたケーススタディにより、本手法の有効性を検証する。
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泉田 裕大, 干場 寛太, 福重 真一
p.
31-32
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年、工業製品やインフラなどの人工物ストックを最大限活用した循環経済への移行が求められている。本研究では、製品や部品の循環マネジメントにおいて、その所有者と需要者をマッチングするためのプラットフォームを、ブロックチェーン技術をベースとして構築する。さらに、ライフサイクルシミュレーションによって、提案システムの環境性・経済性両面での有効性を検証する。
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長谷 亜蘭
p.
33-34
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
材料の変形・破壊の際に生じる弾性応力波(アコースティックエミッション波,AE波)を計測・解析し,各種マイクロ生産機械システムにおけるプロアクティブ状態監視技術の確立を図る.本報告では,小型軸受,マイクロ切削,マイクロ研削などの様々な実験検討から得られたAE信号の特徴を整理し,プロアクティブ状態監視のための指針を提示する.
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野口 昭治
p.
35-36
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
精密研削スピンドルは静圧空気軸受が多いが、メンテナンスやコストを考えるとグリース潤滑の小型棚軸受が望ましい。しかし、回転速度が高く、玉軸受では許容回転速度を超えてしまうことが多い。そこで本研究では許容回転速度を超える回転速度までトルクを測定し、耐久性を確認した結果を報告する。
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渡部 航平, 長谷 亜蘭
p.
37-38
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
アコースティックエミッション(AE)は,材料内部に蓄えられていたひずみエネルギーが解放されて弾性波として放出される現象である.本研究では,マイクロ工作機械における切削状態と主軸運転状態のインプロセス計測を目的とし,工具側および主軸側に設置したAEセンサを用いて2系統のAE信号の計測・評価を同時に行った.今回,異なる工具摩耗条件下で計測されるAE信号を解析し,切削状態と各AE信号特徴量の相関関係を調査している.
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矢部 寛人, 長谷 亜蘭, 秋山 裕亮, 岩坪 佑磨, 北市 充
p.
39-40
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
ダイヤモンドの仕上げ加工では,わずかな研削不良で品質に大きな差が生じる.現状,その加工状態の判断は,長年の経験を積んだ職人に委ねられることが多い.本研究では,材料の変形・破壊により生じる弾性応力波(アコースティックエミッション,AE)を計測し,微視的な研削加工状態をインプロセスで認識・評価できるようにすることを目標とする.今回,小型研削加工機を用いた単結晶ダイヤモンド小片の研削加工に対してAEセンシングを適用し,ドレッシングや遊離砥粒投入の効果について得られた知見を報告する.
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太田 和良, 久保田 竜太, 相星 侑哉, 夏 恒, 嶋村 公二
p.
41-42
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
射出成形現場では、離型不良発生による生産性低下が問題視され、各種金型コーティングによる離型性改善が試みられている。しかし、その効果は一律的なものではなく、離型性改善効果に影響する要因の分析が必要となっている。本研究では、DLCやCrNコーティングに対し、その離型性改善効果と金型表面粗さの影響を実験的に調査し、金型表面粗さRa0.1未満でなければコーティングの離型性改善効果は発揮されないことを確認した。
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工藤 恵梧, 渋谷 翔, 阿部 優太, 福島 祥夫
p.
43-44
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
一般的にプラスチック製品には金型を利用する射出成形が用いられる.その際,樹脂を金型に射出して成形を行うが.金型のキャビティ部分の温度が,品質に与える影響は大きい.これを監視・制御することで不良の早期発見など生産性の向上を図ることが可能であると考える.本研究では,金型キャビティ部分の温度計測に非接触のサーモカメラを使用しているが,様々な価格帯の製品が存在する.そこで,本研究では高額のものと廉価版のものを使用した比較実験を行い,測定精度の比較を行い実用化への基礎的な検討を行った.
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北口 遼馬, 是澤 宏之, 楢原 弘之
p.
45-46
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
射出成形法は成形中の金型変形によって金型分割面に間隙が生じ,これに起因する成形不良が誘起される可能性がある.これにより,射出成形法の持つ有益な利点が喪失され,生産性等が低下する.近年では,数値解析を用いた金型設計により,様々な成形不良の低減が行われていきた.その中でも金型分割面の変形挙動の把握は必要不可欠である.本研究では数値解析を用いることで,金型分割面の変形挙動を検討したので報告する.
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新川 真人, 濱口 純吉, 山下 実
p.
47
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
アルミダイカストプロセス中の熱伝達係数を検討した.まず,伝熱工学的な手法により湯流れ過程,凝固過程での熱伝達係数を検討した.次に実験的に取得した金型温度の変化からコンピュータシミュレーションにより熱伝達係数のチューニングを行った.その結果,プロセス中で熱伝達係数を変化させることによって計算精度が向上した.
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第3報:切りくず誘導通路の改良
神 雅彦, 木島 竜
p.
48-49
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
旋削における仕上切削では,切りくずが連続形切りくずになり易く,この連続形切りくずは,生産能率を悪化させるため,切りくず処理が課題となっている.本研究で,これまでに,切削条件による切りくず諸特性の調査,および連続形切りくずを誘導する通路の試作および評価を実施してきた.本報では,エアーによる吸引式の切りくず誘導方法について検討した.
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印刷との比較
谷口 淳
p.
50
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
ナノオーダーのパターン転写が可能な技術としてナノインプリントリソグラフィがある。この技術は印刷のようにロールトゥロールでも転写することが可能である。本稿では、ロールナノインプリントの使用例と転写精度について述べる。
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喚鐘における形状と音色との関係
神 雅彦, 林 正弘
p.
51-52
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
梵鐘の半分以下の鐘である喚鐘について,その口径や肉厚などの形状と,音色との関係について調査した.調査方法は実際の喚鐘の音響解析および固有振動モード解析による.また,基本音,および部分音との調和音についても考察を行った.
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最大実体公差方式および突出公差域
林 正弘, 平久 悦之, 中村 聡
p.
53-54
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
長年,いわゆる距離寸法と寸法公差が用いられてきたが,これらの指示には曖昧さが多く,幾何公差の利用が必要とされている.これを裏付けるように,JISも改訂され寸法はサイズとなり,サイズとサイズ公差は限定された使い方となっているものの,幾何公差の利用は進んでいない.これらの状況を鑑み,まずは初学者が幾何公差の必要性や有用性を容易に理解できるような実体験モデルを検討した.
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畝田 道雄, 川瀬 真弓, 矢原 肇也
p.
55
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
刃物の「切る」という動作における切れ味は様々な要素が含まれ,統一的な解釈は難しい.包丁の切れ味を考えるとき,切る際の抵抗(力)の大小と使い手による優劣評価の善し悪しに単純な相関はない.本研究では寿司職人を対象に包丁の切れ味に関する感性評価をDEMATEL法によるアンケートとその分析から試みた.その結果,切れ味に関わる要素間の関連を明らかにするとともに,熟練度評価法に波及できる可能性を示す.
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第1報:研削加工中の工作物動剛性計測手法の構築
森 知也, 久原 淳司, 小林 久修
p.
56-57
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
研削加工における加工精度の解析のためには,加工時の工作物の動特性の把握が必要である.これまで,非加工時(静止時)の工作物の動特性はハンマリング試験によって測定されているが,加工時の工作物の動特性は計測できなかった.本研究では,電磁力による非接触加振を原理とした測定装置によって砥石と工作物の接触時の動特性を測定し,研削能率によって工作物の動特性が変化することを確認した.
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第5報:AE信号による工作物表面粗さの推定精度向上
春日 智行, 今枝 大輔, 松尾 和昭, 小林 和矢, 若園 賀生, 岩井 英樹, 今 智彦, 間野 大樹, 是永 敦, 大花 継頼
p.
58-59
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
研削加工における砥石面の劣化状態は,ばらつきがある現象であるため砥石修正インターバルの最適化は難しい.前報では研削加工中に発生するAE信号のとがり度を用い,表面粗さをインプロセス推定できる可能性を見出したが,ノイズの影響などにより推定精度が低い結果となった.本報ではAEセンサをより加工点に近い砥石近傍に取り付け,SN比の高いAE信号を計測することにより表面粗さ推定精度が向上した結果を報告する.
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関 優駿, 内田 元, 山田 高三
p.
60-61
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
円筒研削では,両センタで工作物を支持し加工するが,工作物の形状やセンタによる支持力が異なると,工作物系の剛性が変化する.この支持剛性が変化することによって砥石と工作物が接触した際に生じる研削抵抗が変化すると考えられる.本研究では,円筒研削盤の工作物支持剛性の違いが研削抵抗に及ぼす影響について検討することを目的としている.工作物支持剛性を変え実験を行い,研削抵抗や加工中の変形を比較し,考察した.
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鈴木 慎吾, 佐藤 隆之介
p.
62-63
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
我々のグループでは、球径軸付砥石による研削加工において除去能率を示す指標を提案し、一般砥石を用いた定寸加工に適用したところ、指標の有効性が確認された。本報では超砥粒砥石を用いた難削材の定寸加工に対しての有効性を確認するため、被削材にTi合金と超硬合金を用い、工具に電着ダイヤモンド球形軸付砥石を用いて評価した。その結果、大きな切り残しが発生する厳しい条件下を除いて、その有効性が確認された。
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王 超, 劉 佳慧, 齋藤 樹, 謝 志砼, 木崎 通, 本山 央人, 江川 悟, 山口 豪太, 三村 秀和, 長藤 圭介, 杉田 直彦
p.
64-65
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
これまでの研究の多くでは,研削現象を可視光を用いて ex-situまたは in-situで観察する手法がとられてきた.しかし,これらの手法には大きな制約があり,DX製造の要件を満たすには不十分である.本論文では,高速X線イメージング技術を用いて,研削プロセスを加工中に直接観察することに成功した.このイメージング手法によって,砥粒とワークの界面における材料除去現象を捉えることが可能となり,砥粒の摩耗や目詰まり,表面性状などの研削状態をより詳細に分析できる.第一報で得られた結果より本研究では画像の分解能が大幅に向上しており,さらにX線の透過率が異なるSn-Pb(鉛)や黄銅など,さまざまなワーク材料を対象として実験を行った.
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謝 志砼, 任 浩南, 木崎 通, 勝間 俊文, 杉田 直彦
p.
66-67
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
The chatter vibration that occurs during the gear grinding process has always affected the surface quality of products. To obtain more detailed information about chatter vibration in continuous generating grinding (CGG), vibration data was measured during grinding process. The frequency of vibration caused by the wheel-gear interaction was then identified to be 265 Hz. It was also observed that, throughout several additional experiments by varying wheel speed and axial feed, the vibration is closely related to the gear surface waviness. Finally, a vibration simulation model was constructed in Simulink by incorporating the regenerative chattering mechanism as well as the cutting force periodic variation. The proposed simulation successfully reproduced the 265 Hz vibration during grinding for input grinding conditions. And by removing the regenerative effect module, the 265 Hz vibration disappeared. The simulation also indicated that the occurrence of vibration during the grinding process leads to a higher likelihood of heat damage, also an increase of surface roughness by about 5% - 11%. Therefore, it can be reasonably claimed that the proposed model can provide effective help in understanding the surface quality, geometric accuracy, and heat behavior in CGG.
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畑地 洸希, 松本 悠希, 児玉 紘幸, 大橋 一仁
p.
68-69
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
研削加工におけるびびり振動の抑制は重要課題であるが,その発生メカニズムは十分には解明されていない.本研究では,円筒プランジ研削におけるびびり振動の発生メカニズムを実験的に検討する.ラインカメラを用いて研削過程における砥石作業面性状の変化を観察した結果,研削初期に砥石回転数がわずかに低下し,工作物振動数とほぼ同調する場合,砥石作業面上に周期的な目詰まりが形成され,振動が増大することが確認された.
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緒方 晃輝, カチョーンルンルアン パナート, 寺山 裕, 太田 有紀
p.
70-71
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
これまで、固形材質表面(基準面)でエバネッセント光によるマイクロ工具先端の接近距離の計測法を確立してきた。しかし、工具を接近させる際に固形材質の硬さから双方が破損する恐れがある。そこで、本稿では柔軟性のあるソフトマター表面に局在するエバネッセント光の実用性を検討するため、光場内でピエゾ素子を用いて高さ制御した工具先端とシリコーン表面間距離の測定精度を評価したので報告する。
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学習データ拡張による工具補完精度の改善
嶋田 剛, 水谷 康弘, 片岡 昌磨, 上野原 努, 高谷 裕浩
p.
72-73
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
画像計測によるオンマシンでの工具位置検出では,加工中に発生する切りくずおよび火花が障害物となり工具の位置を正確に検出することが困難である.本研究では,障害物は稀にしか発生せず,映り込む時間が短いという時間的スパース性を利用して,画像の時系列データから障害物を取り除いて計測を行うことを提案する.本報では,工具の動きを考慮したデータ拡張により,障害物を除去するアルゴリズムの改善を行った結果を報告する.
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球表面光強度の空間周期を用いた半径モード推定
菅井 岳琉, LIU YUSHEN, 増井 周造, 道畑 正岐, 高橋 哲
p.
74-75
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
本研究では、微小球の球径を高精度に計測するため、WGM共振を用いた球径計測手法を提案する。本報では、球径の計算に必要となる伝搬モードの一つである半径モードを推定するため、定在波で励起させたWGMの表面光強度ピークの間隔をSNOMプローブによって測定し、事前に測定した球径と組み合わせることで半径モード番号を一意に定める手法を提案し、提案手法を実験によって検証した。
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測定レーザビーム径の影響
北爪 智希, 山崎 雄矢, 田代 直也, 清水 裕樹
p.
76
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
複数の光学式角度センサをもとに回折光の回折角変動を検出し,得られた角度出力の演算によりスケール走査の回転運動誤差およびスケール形状誤差の影響を低減した形態でピッチ偏差を評価する手法では,光学ヘッドの感度がピッチ偏差検出分解能に直接影響する.本報では,光学ヘッドの感度の揺らぎがピッチ偏差検出に及ぼす影響を数値解析計算で評価した結果とともに,市販スケールを用いた実験的検討を試みた結果を報告する.
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二種類の蛍光強度比を利用した膜厚校正手法の提案
藤井 冴子, 吉川 元弥, 増井 周造, 道畑 正岐, 高橋 哲
p.
77-78
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
本研究では、高速に面計測が可能な微細表面形状計測手法として、蛍光膜厚分布測定を利用した新しい計測手法を提案する。本報では、本手法における誤差要因となる励起光強度分布ムラによる影響を排除し、測定対象の反射率による誤差を低減する膜厚校正手法として二種類の蛍光を混合しその強度比から表面形状を計測する方法を提案する。提案手法によるサンプルの測定結果を既存の形状測定機による結果と比較し、精度評価を行った。
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自律的位相ノイズ補償手法の提案
辻野 貴大, 増井 周造, 道畑 正岐, 高橋 哲
p.
79-80
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年、高分解能変位計測技術が求められる中、回折格子エンコーダは光の回折格子へのアクセス回数(光分割数)を増加することで分解能を向上することができる。本研究では、光を循環させるCircular Optical System を用い、複数回回折格子にアクセス可能な計測システムを提案し、原子スケールにおける分解能獲得を目指す。本報では光路での位相ノイズ補償手法を導入し、その有効性について検証した。
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三浦 岳斗, SALINAS ESCAMILLA MIGUEL ANGEL, 竹石 遼平, 韋 冬
p.
81-82
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
光周波数コムなどの白色光源を用いた干渉計測を実現する際に、干渉縞を自動で特定する必要性がある。測長を実現するにはノイズの大きさによらず干渉縞を取る必要があるが、以前はノイズの大きさが一定の環境で検討が行われていた。本稿はノイズに埋もれた状態にある干渉縞信号を定義する。そこで信号にある大小様々なノイズに閾値を決め、分類することで、干渉縞の埋もれ具合によって処理を変更する振り分けシステムを構築する。
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アシンメトリ光学系の検討
高廣 望, 滝口 翔介, 清水 裕樹
p.
83-84
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
波面分割型干渉計に基づくレーザ干渉リソグラフィでは,基板への直接入射露光ビームと平面ミラーによる反射露光ビームとの重畳によりピッチ一定の干渉定在波を安定生成できるが,露光ビーム波面をアクティブ制御することで,より自由度を持たせた干渉定在波の生成が可能になると期待される.本報では,アシンメトリ光学系でのマルチビーム重畳で得られる干渉定在波について,数値解析計算および実験により検討した結果を報告する.
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長岡 樹, 大江 馨, 樋口 雅人, 明田川 正人
p.
85-86
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
回路幅2nmの半導体が製造にはEUV露光装置が必須であり、この装置には表面精度が10pm級の非球面ミラーが必要である。すなわちこのミラー製作には、これ以下の精度をもつ位置決めセンサが必要である。我々は20〜10pm程度の分解能をもつ干渉計(ヘテロダイン・正弦波位相変調)を開発している。本講演では、外乱除去と高剛性を両立し、 1次元変位と2次元面内変位が測定可能な一体型干渉計を開発する。その上でpm分解能の達成が可能か検討する。
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速水 将治, 増井 周造, 道畑 正岐, 高橋 哲, 川上 哲司, 森井 秀樹
p.
87-88
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年、半導体デバイスの性能向上に伴い、薄膜の膜厚と基板構造を同時に高精度で測定できる手法へのニーズが高まっている。白色干渉計では、薄膜表面と底面からの干渉信号分離が困難な約1 μm以下の薄膜や未知屈折率材料の計測に課題があった。本研究はエリプソメトリーの原理を組み合わせた薄膜計測可能な新しい白色干渉計を提案し、膜厚100 nmおよび1 μmのSiO2薄膜計測に成功した。
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小田 和哉, 村上 浩二, 諏訪 晴彦
p.
89-90
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
摩擦攪拌接合の自動化・省人化のためのリアルタイム状態監視技術が注目されている.本研究では,正常データのみを学習する機械学習を用いた異常検知手法の確立を目指している.ここでは,接合加工時の温度データに基づいた変分自己符号化器の異常検知を検証し,入力次元の適切な設定方法について検討する.変分自己符号化器の潜在変数の分布特性が,入力次元を選定する際の指針となることを示す.
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嵐 椋平, ゴーシュ アンクシュ クマール, 裡 しゃりふ
p.
91-92
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
本研究の目的は生産加工により作成された断面曲線の画像データのモデリング及びシミュレーションを行うことによって加工面のデジタルを図る。加工面の断面曲線はトレンド、ノイズ及びバーストの三要素で構成され、その要素を画像データから数値として獲得する必要がある。本研究ではこのような要件を満たす知的システムを開発する。得られた成果は加工面のスマート化に必要なDigital Manufacturing Commons (DMC)の作成に役立つと考える。
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尾嶌 裕隆, 澤田 篤彦, 林 薫音, 周 立波, 小貫 哲平, 清水 淳
p.
93
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
深層学習を用いた新たな異常検知モデルを使った,野菜出荷時の良否判別を考えている.従来の異常検知モデルでは,対象物の特徴を学習するために膨大な学習データと学習時間が必要であったが,本研究では,学習を必要とせず,少ないデータで異常検知できるモデルを開発した.開発したモデルを用い,公開された工業製品の画像データおよび,研究室で用意した野菜画像データによる異常検知を行った結果について報告する.
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余田 裕之, 勝田 智宣, 藤井 健博
p.
94-95
発行日: 2025/03/05
公開日: 2025/09/05
会議録・要旨集
認証あり
近年、IoT機器の普及に伴い、加工機に設置した各種センサから膨大な量のデータが取得されている。これらのデータは、切削工具の異常検出などへの適用が期待されているが、詳細な検討は十分にはなされていない。そこで、本報告では、工具の異常検出を目的として、側面旋削時に取得した加工力の分布をクラスタリングするため、データサイエンスの手法の1つであるk-means法を用いて検討した結果について報告を行う。
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