高タクト化に挑戦する直動案内ガイド

道岡 英一; 飯田 勝也; 矢萩 繁広; 庄司 智昭; 三瓶 洋志

doi:10.11522/pscjspe.2002A.0.179.0

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: D62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.179.0

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主催: 社団法人精密工学会

転がり機械要素（1）

高タクト化に挑戦する直動案内ガイド

道岡英一, *飯田勝也, 矢萩繁広, 庄司智昭, 三瓶洋志

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抄録

現在のIT産業の発展に伴い，IT産業を支える半導体製造装置の高タクト化が要求されている．よって，以前の報告でそれらのニーズに対応するために直動案内（LMガイド）の高速性（3.8m／s），高加減速（20G），高応答性（8Hz）を実現したLMガイドの開発について報告した．今回の報告では，更なる高タクト化への要望に応えるために，5.6m／s，50g，11.6Hzを実現したLMガイドの開発について報告を行う．

責任著者(Corresponding author)

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