層流化による空気軸受の無振動化

構造について

抄録

一般的に、静圧軸受は静止時及び移動時の振動が非常に少ないと考えられている。しかし、超精密加工で要求される精度が高くなるのに伴い、この微細な振動の影響も無視できなくなってきている。この振動の原因は空気の流れが乱流の状態にある事により生じるものであるため、機械配管内のすべての空気の流れを層流の状態にする設計により、乱流に起因する振動を完全に排除した構造とした。