精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: H21
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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用（2）
ナノ·インプリント法によるガラス成形
*平井 義彦, 田中 芳雄, 金釘 知洋, 八尾 和幸, 山口 武彦
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キーワード: ナノ加工, ガラス, リソグラフィ, インプリント
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抄録
ナノ·インプリント法を用いて，低融点ガラス材料をガラス軟化温度付近まで加熱し，微細なパターンを有するSiモールドをプレスして，500nmピッチの格子パターンの作製を行った．温度シーケンス，離型処理などについての検討をおこなった．
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© 2002 公益社団法人　精密工学会
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