サファイアの高精度ELID研削の研究

第2報

抄録

サファイアの硬度は非常に高く、平滑な表面を実現しやすいが、加工能率の向上が困難とされている。そこでELID法を利用し、高能率、高精度研削加工を試みた。後工程のラッピング、ポリシングを考慮し、加工能率と共に、仕上げ面の向上をねらった。