テーブルトップ超精密4軸加工機の開発 第5報：微小砥粒砥石を使用した定圧テーブルの効果

上原 嘉宏; 大森 整; 山形 豊; 守安 精; 林 偉民; 潘 燕; 佐々木 哲夫; 石川 惣一; 浅見 宗明; 三浦 隆寛

doi:10.11522/pscjspe.2002A.0.456.0

2002年度精密工学会秋季大会

セッションID: I74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2002A.0.456.0

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主催: 社団法人精密工学会

ELID研削（3）

テーブルトップ超精密4軸加工機の開発

第5報：微小砥粒砥石を使用した定圧テーブルの効果

*上原嘉宏, 大森整, 山形豊, 守安精, 林偉民, 潘燕, 佐々木哲夫, 石川惣一, 浅見宗明, 三浦隆寛

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キーワード: 卓上加工機, ELID 研削, マイクロ加工

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抄録

本報では，ELID研削システムを搭載したテーブルトップ型超精密4軸加工機に，開発した小型定圧テーブルを使用し，#8000以上の微小砥粒砥石を用いて，高鏡面加工の試みを行った．実験には，#8,000，#12,000，#20,000などのメタルーレジンボンド砥石を用いて行った．実験の結果，テーブルトップ型超精密4軸加工機により，定寸切り込みでは，加工できない領域の微小砥粒砥石を使用することが可能となることが確認できた．

責任著者(Corresponding author)

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