薄肉SiCミラーのELID研削変形

抄録

SiC軽量ミラーは常に薄肉リブ構造に設計される。しかし，研削抵抗によって変形すると，形状精度が損なわれることは避けられない。本研究は厚さわずか3mmの薄肉SiCワークを用いて，ELID研削変形について調べたのでその結果を報告する。