抄録
本研究では，従来の三次元測定機では困難な微小な工業部品のナノメートルオーダでの三次元形状測定が可能なnano-CMMの開発を進めている． nano-CMMには，測定対象物との接触を高精度かつ低測定力で検出可能な小型プローブが必要不可欠である．そこで現在nano-CMMに搭載するnano-Probeシステムの開発を行っている． 本報では，更なる光学系の検討を加えて，小型でかつナノメートルオーダの分解能を持つnano-Probeを完成させ，nano-CMMに搭載してオブジェクトを用いた測定実験を行う．
