超音波楕円振動切削による超精密マイクロ機械加工

抄録

近年，液晶表示機器において微細形状かつ，高い形状精度を有する微細加工の要求が増加している．なかでも構成部品の一つである導光板への適用は付加価値も高く，微細加工技術に大きな恩恵を受けている．本報では，著者らがこれまで研究を進めてきた楕円振動切削を導光板の微細溝加工へ適用することを試みる．具体的にはアクリルに直接溝加工を施し，楕円振動切削の特徴である「加工熱の低減」効果から透明度の高い加工品を得る．これにより直接成形品の加工が行なえることから光学設計等に大きく貢献できると考える．