精密工学会学術講演会講演論文集
2002年度精密工学会秋季大会
セッションID: N18
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知的精密計測(4)
高フィネス光共振器と結晶格子によるピコメートル分解能測長法の開発
第1報:計測原理と装置設計
*明田川 正人高田 孝次
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抄録
 光共振器を利用しその共鳴条件を利用して,レーザの波長安定化を図る手法は,その高い安定性のために,宇宙干渉計·重力波干渉計などに導入されつつある.この手法は長さ計測に転用可能である.105程度のフィネスをもつ共振器内で周波数変調を受けた光が入射し共鳴する場合,共振器からの戻り反射光と変調信号のロックイン検出信号にゼロクロス法を適用すると,入射レーザの半波長(約0.3μm)の10-6(=10-5×10-1)以下の分解能(すなわちサブpm)で共振器長を決定できる可能性がある.本報ではこの手法と格子間隔がサブナノメートルである結晶格子を組み合わせたピコメートル計測法を提案する。
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© 2002 公益社団法人 精密工学会
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