抄録
今日、工作機械には形状加工精度の向上が要求されている。その内、金型加工等の鋼材加工では工具の長寿命化、半導体製造装置筐体等のアルミ切削加工では鏡面加工を実現すべく面質の向上が求められている。これらの要求に対し、工作機械の送り案内面に求められる重要な特性として、減衰性と高速追従性という2つの相反する特性がある。これらの特性を両立させるために、当社は転がり案内を主とし、すべり案内を付加するハイブリッド案内を開発し、新型機に採用した。本研究では、開発したハイブリッド案内の基本特性を評価する為にテスト装置を製作し、ウェービング特性，減衰性などのテスト及び評価を行ったので、その結果を報告する。
