精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会秋季大会
セッションID: D67
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マイクロ・ナノ加工とその応用(3)
高速切削によるガラスの延性モード微細加工
*タンポンプラサート パイラット割澤 伸一光石 衛
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抄録
微小切り込みによるガラスの延性モード加工がよく知られている。著者らは高速切削によって大きな切り込み深さでガラスの延性モード加工が可能であることが確認された.そこで,本研究では,切削速度,工具すくい角,工具傾斜角がガラスの延性モード加工に与える影響について,ガラスのはかり力学の観点から考察した。これに基づき,送り速度1.7m/sで4umの切り込み深さの延性モード加工の実現が可能となったので,これを報告する。
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© 2003 公益社団法人 精密工学会
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