抄録
直径約150umの気孔形成剤を添加したダイヤモンドホイールを用いて，シリコンウェハの精密研削および薄片化を行った．気孔形成剤の添加割合を20，40および60％としたホイールと無添加ホイールを用い，8インチシリコンウェハをインフィード研削し，研削抵抗，仕上げ面粗さを測定した．その結果，40％添加したホイールは目づまりが少ないためホイール寿命が長く，良好な研削特性を有することがわかった．60％添加したホイールはボンド強度が低下するため，ホイール損耗量が多く，精密研削には適さないことがわかった．
