主催: 社団法人精密工学会
キンセキ 技術本部 生産技術部
東京大学 生産技術研究所
(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)
(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)
複合粒子研磨法によるパッドレスポリッシングにおいて、水晶両面研磨へ適用し、従来加工法より高能率かつ高精度の加工方法を実現した。
すでにアカウントをお持ちの場合 サインインはこちら