超純水のみによる電気化学的加工法の研究

水分子を解離する機能を有する電極の開発

抄録

超純水のみによる電気化学的加工法は、水分子を触媒反応によって分解し、生成したOHと被加工物との化学反応により加工を行う、超清浄・超精密加工法である。これまでに、各種材料の実用速度での加工が可能であることを報告してきた。現在、加工面の平坦度の向上と大面積の高速度平坦化加工を目指して、水分子を分解する機能を有する新しい加工電極の研究・開発を行っており、その結果について報告する。