精密工学会学術講演会講演論文集
2003年度精密工学会秋季大会
セッションID: J08
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主催: 社団法人精密工学会

精密・超精密位置決め（2）
MR流体を用いた位置決め機構の機械特性評価
*余平 哲也
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キーワード: 精密位置決め, 機能性流体, MR流体
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抄録
微小振動を除去するために，MR流体槽と可動板からなるMR流体ユニットを作成し，その機械特性から，MR流体で剛性の制御が可能であるかどうかを評価した．
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© 2003 公益社団法人　精密工学会
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