周波数変調格子投影を用いた形状計測法の精度検討

藤垣 元治; 池田 泰之; 森本 吉春; 米山 聡

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.602.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: K32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.602.0

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス（5）

周波数変調格子投影を用いた形状計測法の精度検討

*藤垣元治, 池田泰之, 森本吉春, 米山聡

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キーワード: 形状計測, 格子投影法, 周波数変調格子, 位相シフト法, 位相接続

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抄録

投影格子の位相解析を用いた形状計測において，複雑な形状をした物体を計測するためには，1画素毎に独立して位相接続を行う必要がある．本研究では，位置に応じて輝度変化の周期が変調された周波数変調格子を用いる手法を提案し，その精度について検討する．本手法を用いることによって9枚の位相シフト画像から2通りのピッチの位相分布を求めることができ，それにより22周期分の位相接続を行うことができる．

責任著者(Corresponding author)

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