二波長光干渉式高速高精度三次元形状測定法

抄録

白色干渉を応用した形状測定法では，物体と参照鏡が作る干渉縞の位相とコントラストから形状を高精度に算出する．一般に，取り込む画像毎の位相シフト量をπ/2とすることが多いが，本研究では位相シフト量を2nπ±π/2（n:自然数）とし，シフトスピードを速める．また，光源として波長の異なる2つのLEDを使用し，交互に点灯させそれぞれの波長λ1，λ2の干渉像を取り込み，取り込んだ画像から形状を測定する研究をしている．