リニアモータ駆動超精密加工機の性能評価

平野 稔; 渋川 哲郎; 竹内 勝彦; 稲田 豊; 加藤 智仙; 村上 敏夫; 阿部 守年; 岩井 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.661.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: L31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.661.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密加工機とその要素技術（1）

リニアモータ駆動超精密加工機の性能評価

*平野稔, 渋川哲郎, 竹内勝彦, 稲田豊, 加藤智仙, 村上敏夫, 阿部守年, 岩井英樹

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キーワード: 超精密加工機, リニアモータ駆動, 自由曲面

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抄録

小型で高精度なレンズ金型を加工対象とし，超精密自由曲面加工機AHN05を開発した．本機の最大の特徴は，直線軸の油静圧案内面をコアレスリニアモータで駆動し，位置検出を高分解能リニアスケールで行なうことにある．これにより従来のボールねじ駆動加工機における問題点が解消され，機械性能の向上を図ることができた．本報ではAHN05の性能評価結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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