LiNbO3基板を用いたタッピングスタイラス

藤森 義真; 早瀬 仁則; 小口 寿明; 初澤 毅

doi:10.11522/pscjspe.2003A.0.680.0

2003年度精密工学会秋季大会

セッションID: L67

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2003A.0.680.0

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主催: 社団法人精密工学会

走査型プローブ顕微鏡（2）

LiNbO₃基板を用いたタッピングスタイラス

*藤森義真, 早瀬仁則, 小口寿明, 初澤毅

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キーワード: タッピングスタイラス, 表面計測センサ, LiNbO₃

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抄録

これまで研究されてきたマイクロフォークを用いたタッピングスタイラスは、マイクロフォークが既製品のであるため、計測に影響を与える共振周波数、Q値等の値を変更出来なかった．そこで本研究では、圧電単結晶であるLiNbO₃を微細加工技術を用いて加工し、マイクロフォークに代わる振動子を製作し、その計測特性を評価するとともに、タッピングスタイラスとして用い、段差試料、回折格子の表面形状の測定を行った．

責任著者(Corresponding author)

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